Der von uns ausgelieferte Präzisions-Kreuztisch LMX kommt zur simultanen Inspektion von Silicium-Wafern zum Einsatz.
Der individualisierte Kreuztisch positioniert sowohl mit seiner ultraflachen Drehachse in X- und Y-Richtung µm-genau und arbeitet mit 1 g Beschleunigung auch extrem schnell. Auf einem Granit aufgebaut, werden unsere Linearführungen, Linearmotoren und ein Rundtisch zu einer Bewegungseinheit, die mit minimaler Bauhöhe und gleichzeitig maximaler Hohlwelle neben einfachen Handlingsaufgaben auch hoch präzise Positionieraufgaben übernimmt.
Standardisierte Antriebskomponenten werden wie aus einem Baukasten zu kundenspezifischen Präzisions-Systemen. Es stehen eine Vielzahl ausgereifter standardisierter Systeme zur Verfügung, die dank ihres modularen Aufbaus passgenau individualisiert werden können. Unsere Experten erstellen zusammen mit Ihnen das passende Konzept für Ihr Präzisions-System. Informieren Sie sich gleich hier ausführlich über unsere Präzisionsachsen & Präzisions-Systeme.
Anforderungen:
- µm-genaue Bewegungen
- Extrem hohe Beschleunigungen
- Hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit
HIWIN-Komponenten:
- Rundtisch DMT
- Profilschienenführungen HG
- Wegmess-System
- Linearmotoren LMC
Einsatzgebiete: